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卓上真空貼合装置 リーフレット

卓上真空貼合装置 リーフレット

各種ガラス基板、フィルムの真空貼合の試作や実験に最適

微粘着パッドにより真空中でガラス基板を保持し、下基板に気泡レスで貼り付けます。貼り付け動作は精密Z ステージを電動または手動操作。上ステージは石英ステージを採用。貼合状態の観察と真空中でのUV 照射が可能です。上下ステージをMax120℃のヒーター内蔵タイプに変更も可能です。

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