コフロックでは、さまざまなタイプの流量制御・流量計測機器を取り扱っています。
使われる環境や流体の種類、用途に適した機器をご提案します。

Kofloc Fluid 09 V2

フローメータ（気体・液体）

フローメータ（面積式流量計）は細長い円錐状のテーパ管という筒の中にフロート（浮子）を入れ、テーパ管を通過する流体の量によってフロートが上下し、その位置で流量を計測する機器です。気体、液体のどちらでも使用可能です。
計測と制御を同時に行える制御バルブが一体化したタイプもあります。
ガラステーパ管に特殊な形状の筒を採用するなど、微少流領域の安定した計測が可能な点も、コフロックの強みです。

長所	シンプル構造、電源不要、計測流体が多い、ローコスト
短所	圧力や温度の影響を受けやすい、垂直取付限定、異物で詰まりが生じやすい

主な製品

精密・汎用
樹脂製・ローコスト
警報機能付
スタンド付

マスフローコントローラ/メータ（気体）

マスフローコントローラ（MFC）はバルブと組み合わせて気体（ガス）の流量を計測・制御する機器です。センサの上流と下流の温度差で質量流量を計測するため、圧力や温度の影響を受けづらいのが特徴です。流量を電気信号でやり取りできます。
流量計測のみが可能なマスフローメータ（MFM）も提供しています。

長所	圧力や温度の影響を受けにくい、電気信号（デジタル）で制御可能、計測できる流体が多い
短所	異物で詰まりが生じやすい

主な製品

デジタル制御
アナログ制御

カルマン渦流量計（液体）

カルマン渦流量計は液体中に物質を置いた際、下流側に生じるカルマン渦の周波数を利用して流量計測する機器です。
接液部材質がPFAなどで構成された耐薬品性を備えたタイプもあり、主に半導体製造のウェット洗浄装置やCMP装置、メッキ装置などで活用されています。
コフロックでは、温度センサが一体化して液温変化時にも高精度計測できるモデルも提供しています。

Kofloc Fluid 10

長所	可動部がない、計測流体が多い
短所	直管部が必要、機種によっては高粘度流体に対応できない

主な製品

温度補正付

超音波流量計（液体）

コフロックの超音波流量計は、超音波の伝搬時間の差分を利用して流量を算出します。
可動部が無くセンサが流体に接液しないため清浄度を要求される用途で使用できるのも超音波流量計の特長ですが、コフロックの製品は流路がストレート構造であり滞留部が無い強みがあります。

長所	圧力損失が小さい、可動部がない、計測流体が多い
短所	直管部が必要、気泡に弱い

主な製品

超音波伝搬時間差方式

流量制御バルブ（気体・液体）

流量制御バルブは、流路（オリフィス）を針状または棒状のニードルで開度調整し、その流路抵抗変化で流量制御するニードルバルブが一般的です。
コフロックの精密ニードルバルブは、ニードル部とツマミ部が一体化されていません。それによりニードル部が非回転移動するため、流量設定がしやすく、安定性に優れているのが特徴です。
他にも電圧印加で流量を調整・制御する比例ソレノイドバルブも提供しております。

主な製品

精密ニードルバルブ
フローコントローラ
比例ソレノイドバルブ

圧力制御バルブ（気体）

圧力制御バルブの種類には、減圧弁（プレッシャーレギュレータ）と背圧弁（バックプレッシャーレギュレータ）があります。
減圧弁とは、二次側（出口側）の圧力を一定にするための調節弁です。一般に装置の初段に多く用いられます。
背圧弁は一次側（供給側）が設定値以上になったとき、バルブを通してその圧力（ガス）を逃すことで一次側（供給側）から入る圧力を一定に調整します。

主な製品

プレッシャーレギュレータ
バックプレッシャーレギュレータ

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