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共焦点光学式非接触変位センサ confocalDTシリーズ カタログ

共焦点光学式非接触変位センサ confocalDTシリーズ カタログ

透明体や多層膜の変位・厚さを非接触で高精度測定

共焦点光学式非接触変位センサ confocalDTシリーズは、レンズの色収差の原理を利用し、非接触で距離や厚さを高精度に測定するセンサシステムです。拡散面や鏡面はもちろん、ガラスや透明な多層膜などの対象物も高分解能で安定して計測します。

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