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TG-Mシリーズ

磁気軸受形ターボ分子ポンプ

磁気軸受形複合分子ポンプの特徴
■高領域排気
■大流量排気
■優れた耐久性
■回転数コントロール
■オートキャリブレーション
■チューニングフリー
■メンテナンスコール
■様々な特殊仕様