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ローダー装置 ES43-1 紹介資料

ローダー装置 ES43-1 紹介資料

HEPAフィルター搭載、高クリーン度のキャリア搬送を省スペースで実現

半導体パッケージング工程向けのキャリア搬送に対応するコンパクトモデルです。HEPAフィルター搭載の空気清浄システムと帯電防止仕様により、高いクリーン性能を確保しています。

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