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アンローダー装置 ES43-2 紹介資料
HEPAフィルター搭載、高クリーン度のキャリア搬送を省スペースで実現
半導体パッケージング工程向けのキャリア搬送に対応するコンパクトモデルです。HEPAフィルター搭載の空気清浄システムと帯電防止仕様により、高いクリーン性能を確保しています。HEPAフィルター搭載、高クリーン度のキャリア搬送を省スペースで実現
半導体パッケージング工程向けのキャリア搬送に対応するコンパクトモデルです。HEPAフィルター搭載の空気清浄システムと帯電防止仕様により、高いクリーン性能を確保しています。