お客様の生産規模や用途に合わせて、大きく3つのシリーズから最適な装置をお選びいただけます。

TWPシリーズ（量産用）

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2チャンバーまたは4チャンバーの標準構成で、生産性を最大限に高める量産向けモデルです。

ダブルアームのスカラロボットを標準採用し、高いスループットを実現します。

リフトオフ工程が数分で完了する場合、2チャンバー構成が最も効率的ですが、処理時間が長い場合はチャンバー数を増やすことでタクトタイムを向上させるご提案も可能です。

用途	リストオフ／レジスト剥離／洗浄等の有機薬液による枚葉処理
対象ウエハ	種類　：Si、化合物（GaAs、InP、Sapphire、SiC、GaN等）サイズ：2,3,4,5,6,8,12inch
洗浄チャンバー数	2／4
処理機構	高圧ジェット／２流体ジェット／超音波シャワー等（用途に応じた最適なノズルを選定頂けます）
処理液	剥離液、有機溶剤、純水
薬液回収	薬液の循環回収・濾過・温調システム
搬送ロボット	ダブルアームスカラロボット
チャック方式	バキュームチャック／メカニカルチャック方式
標準装置サイズ（本体）		2ch	4ch
	幅	1,900mm	1,900mm
	奥行	2,700mm	3,700mm
	高さ	2,200mm	2,200mm

※装置サイズは8inchφ仕様

TWPmシリーズ（研究開発・少量試作用）

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カセット to カセット方式のフルオートでありながら、チャンバーを1つに限定した、研究開発や少量生産に最適なモデルです。

フットプリントは幅1200mm、奥行き1500mmからとコンパクトな設計です。オプションでIPA置換ラインを追加することも可能です。

用途	リストオフ／レジスト剥離／洗浄等の有機薬液による枚葉処理
対象ウエハ	種類　：Si、化合物（GaAs、InP、Sapphire、SiC、GaN等）サイズ：2,3,4,5,6,8,12inch
洗浄チャンバー数	1
処理機構	高圧ジェット／２流体ジェット／超音波シャワー等（用途に応じた最適なノズルを選定頂けます）
処理液	剥離液、有機溶剤、純水
薬液回収	薬液の循環回収・濾過・温調システム
搬送ロボット	スカラロボット
チャック方式	バキュームチャック／メカニカルチャック方式
標準装置サイズ（本体）	幅　：1,200mm 奥行：1,500mm（追加薬液循環ライン追加の場合2,000mm）高さ：2,000mm

※装置サイズは8inchφ仕様

TWPsaシリーズ（研究開発用セミオート機）

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搬送ロボットを持たない手載せ式のスタンドアロンモデルで、研究開発に特化しています。

フットプリントは幅900mm、奥行き1500mmと同シリーズで最もコンパクト、限られたスペースにも設置可能です。

用途	リストオフ／レジスト剥離／洗浄等の有機薬液による枚葉処理
対象ウエハ	種類　：Si、化合物（GaAs、InP、Sapphire、SiC、GaN等）サイズ：2,3,4,5,6,8,12inch
洗浄チャンバー数	1
処理機構	高圧ジェット／２流体ジェット／超音波シャワー等（用途に応じた最適なノズルを選定頂けます）
処理液	剥離液、有機溶剤、純水
薬液回収	薬液の循環回収・濾過・温調システム
搬送ロボット	手載せ式
チャック方式	メカニカルチャック方式
標準装置サイズ（本体）	幅　：900mm 奥行：1,500mm 高さ：1,800mm

※装置サイズは8inchφ仕様

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