株式会社高田工業所
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IPA 蒸気洗浄装置

IPA 蒸気洗浄装置

デバイス・ウエハ・ガラス・部品等、材質や形状を問わず、高純度のIPA を用いたクリーン乾燥が可能

  • 材質や形状を問わず、高純度IPA を用いたクリーン乾燥が可能
  • 実績が示す万全の安全対策
  • オールステンレスにより破損の危険性を排除
  • ペーパーゾーン、ドライゾーンに分け持ち出しIPA を削減

 

ウエハをIPA（イソプロピルアルコール）の蒸気雰囲気中において洗浄・乾燥する装置で、IPAの品質管理システムおよび、種々の安全システムが装備されています。