IPA 蒸気洗浄装置
- 材質や形状を問わず、高純度IPA を用いたクリーン乾燥が可能
- 実績が示す万全の安全対策
- オールステンレスにより破損の危険性を排除
- ペーパーゾーン、ドライゾーンに分け持ち出しIPA を削減
デバイス・ウエハ・ガラス・部品等、材質や形状を問わず、高純度のIPA を用いたクリーン乾燥が可能
ウエハをIPA（イソプロピルアルコール）の蒸気雰囲気中において洗浄・乾燥する装置で、IPAの品質管理システムおよび、種々の安全システムが装備されています。以下のご入力をお願いいたします。
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