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枚葉式ウェット処理装置 TWPシリーズ
高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構を搭載
枚葉式ウェット処理装置「TWPシリーズ」は、有機溶剤を用いたレジスト剥離やリフトオフ工程を得意とするウェット処理装置です。特に、MEMS、パワーデバイス、高周波デバイス、光デバイスといった分野で、高難易度のレジスト剥離や残留物（ポリマーやフェンスなどの反応生成物）除去に対応します。高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構を搭載
枚葉式ウェット処理装置「TWPシリーズ」は、有機溶剤を用いたレジスト剥離やリフトオフ工程を得意とするウェット処理装置です。特に、MEMS、パワーデバイス、高周波デバイス、光デバイスといった分野で、高難易度のレジスト剥離や残留物（ポリマーやフェンスなどの反応生成物）除去に対応します。