株式会社高田工業所
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セミオートウエット処理装置 TWPsaシリーズ

セミオートウエット処理装置 TWPsaシリーズ

研究・開発用途に最適な機能とサイズで低価格を実現

  • 高い剥離性能
  • 省フットプリント
  • 量産装置（従来製品）からのチャンバー機能は踏襲
  • 有機薬液に対する安全防爆設計
実ウエハ・実液を使用したデモ実験により、最適な処理プロセスと最適なソフト・ハードウエアをご提案致します。