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「FC6000」資料

「FC6000」資料

変換器一体形コントローラによりコンパクトなシステムを実現

流量範囲：最小2.5～25mL/min
　　　　　最大1～10L/min
流体温度：5～50℃
流体圧力：0.3MPa max.
精度　　：指示値の±1％